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单晶炉简介编辑单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。根据权利要求4所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流导向装置(20)的上端部(2-4)的外壁与该炉的保温筒(17)密封连接。6，根据权利要求5所述的直拉式单晶生长炉。根据权利要求2所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流导向装置(20)的中轴孔(2-1)与该炉的石墨中轴(21)活动密封连接。4，根据权利要求2或3所述的直拉式单晶生长炉。该炉的一对电极柱(15)分别穿过所述电极孔(2-2)，该炉的排气口(13)与气流导向装置(20)的各通气孔(2-3)相连通。设于所述中轴孔(2-1)两侧的一对电极孔(2-2)，以及设于所述中轴孔(2-1)两侧并与该炉的排气口(13)相对的通气孔(2-3)。氩气流量为30L/min。